1.能有效的减小波纹度。超精研过程中，当磨石与工件接触的圆弧大于或等于工件表面波纹度的波长时，就能保证磨石始终作用于波峰而不与波谷接触，这样波峰的接触压力较大，凸峰就被切除，因而减少了波纹度。

    2.改善球轴承滚道的沟形误差。超精研可以有效的改善前序滚道的沟形误差，一般视前序沟形的加工效果而变化，球轴承滚道的沟形误差的改善和前序加工精度的状况一般成反比。

    3.能使被超精研表面产生压应力。超精研过程中主要产生冷塑形变形，因而超精研后工件表面形成残余压应力。

    4.降低表面粗糙度值。

    5.能使套圈工作表面的接触面积增加。超精研后，套圈工作表面接触支承面积可由磨削后的15％～40％，增加到80％～95％。

    6.超精机的精研效果和超精机的工艺参数密切相关，比如超精头的摆频、工件轴的转速，以及超精油石的选用和超精机的研磨效果都有关系。